一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法.pdf

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本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，涉及刻蚀技术领域；为了避免蓝宝石在刻蚀作业中出现异常中断后造成报废；该中断补救方法以下步骤：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；对需要再次刻蚀的时间进行计算；将产品传入刻蚀机并使用计算的补救方案进行再次刻蚀；将完成再次刻蚀后的产品传出，完成整个刻蚀的过程。本发明通过在出现刻蚀异常后，对此时蓝宝石衬底所处的刻蚀步骤和已刻蚀时间，对蓝宝石衬底需要再刻蚀所需时间进行计算，利用计算后的时间将蓝宝石衬

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114899095 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210368431.8 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人徐州美兴光电科技有限公司地址 2