铁电性薄膜、使用其的电子元件以及铁电性薄膜的制造方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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铁电性薄膜、使用其的电子元件以及铁电性薄膜的制造方法.pdf

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本发明的目的在于提供一种与以往的由添加了钪的氮化铝构成的铁电性薄膜相比具有非常高的铁电性并且具有可耐受实用的稳定性的铁电性薄膜及使用其的电子元件。本发明提供由化学式M11‑XM2XN表示、M1为Al或Ga、M2为选自Mg、Sc和Nb中的至少1种元素、X为0以上且1以下的范围的铁电性薄膜和使用其的电子元件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902385 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080090482.8 (51)Int.Cl.