翼型自悬浮式研磨盘.pdfVIP

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翼型自悬浮式研磨盘,包括圆盘形主体,圆盘形主体的外缘沿周向均匀分布若干翼型扇叶,翼型扇叶沿周向的两侧分别为前缘和后缘;翼型扇叶的前缘至后缘之间的连线为翼弦,翼弦由后缘至前缘向上倾斜;从靠近圆盘形主体的圆心至远离圆盘形主体的圆心的方向,翼型扇叶的后缘与水平面的夹角逐渐减小;翼型自悬浮式研磨盘的下表面用于连接工件,翼型自悬浮式研磨盘在抛光液中进行回转运动产生液体动压与上下表面压差带动工件浮起,工件与抛光液磨料相接触。本发明装置简单,成本较低;可改善工件的表面粗糙度和平面度;研磨盘底部平稳,在高速旋转

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114871938 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202210501981.2 B24B 31/12 (2006.01)

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