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本发明提供了一种靶材环件的回收方法,所述回收方法包括以下步骤:将预处理后的靶材环件进行拆卸,分别得到环部和连接部;将得到的环部进行压制,然后与挡板组装成槽体,并将所述连接部置于所述槽体之中;进行电子束熔炼,得到靶锭,实现回收;所述回收方法仅将靶材环件经过简单的处理与组装,然后采用电子束熔炼即可实现回收,便捷高效,单次产量高,极大地缩短了生产周期,且得到的靶锭表面质量好,纯度可高达99.99%以上,有利于规模化生产应用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114892028 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210376271.1
(22)申请日 2022.04.11
(71)申请人 同创(丽水)特种材料有限公司
地址
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