一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法.pdf

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本发明涉及一种直写式光刻机的自动压板机构，包括工作台、X轴压板、用于驱动X轴压板的X轴驱动机构、Y轴压板、用于驱动Y轴压板的Y轴驱动机构及下压机构，X轴压板安装于X轴驱动机构的输出端，Y轴压板安装于Y轴驱动机构的输出端；下压机构包括X轴下压件、Y轴下压件及XY轴边缘下压件；还包括控制单元、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元及上位机单元，控制单元对下压机构进行指令操作；上位机单元与控制单元连接。该自动压板机构自动化程度高，压紧效果好，能够保证PCB电路板在水平度内。一种直写式光刻机的自动压板机构的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114885511 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210659974.5 (22)申请日 2022.06.13 (71)申请人杭州新诺微电子有限公司地址 31