- 1、本文档共29页,其中可免费阅读28页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明具备处理液喷出部和气泡供给部,处理液喷出部设于基板保持部所保持的基板的下方侧,从处理液喷出口朝向贮存空间的内底面喷出处理液,气泡供给部设于基板保持部所保持的基板的下方侧而且设于处理液喷出口的上方侧,将气泡供给至贮存空间所贮存的处理液,在铅垂方向上的气泡供给部与处理液喷出口之间,将经过贮存空间的内底面而流向上方的处理液的至少一部分作为分流对象液,将分流对象液的流动分流为多个上升流并将其引导至基板保持部所保持的基板。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902380 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080089352.2 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
您可能关注的文档
- 存储器装置的地址验证.pdf
- 色像差减轻系统和方法.pdf
- 治疗区域评估器.pdf
- 层叠体和其制造方法以及汽车用外饰材料.pdf
- 通过在用去酸甲醛制备的缓冲福尔马林中固定组织来保存核酸序列.pdf
- 显示装置及操作显示装置的方法.pdf
- 用于细胞培养的系统和方法.pdf
- 超声图像采集和处理预设共享以及相关联的系统、设备和方法.pdf
- 卤素灯替换件.pdf
- 加工部耐蚀性优异的Zn-Al-Mg系热浸镀合金钢材及其制造方法.pdf
- 2024至2030年中国人造棉面料行业投资前景及策略咨询报告.docx
- 重庆市渝中区遴选公务员2024年国家公务员考试考试大纲历年真题10340笔试历年典型考题及解题思路附.docx
- 2024至2030年中国甲基苯乙酮行业深度调研及发展预测报告.docx
- 2024至2030年中国羚羊角类饮片行业深度调查与前景预测分析报告.docx
- 重庆市面向中国农业大学定向选调2024届大学毕业生2024年国家公务员考试考试大纲历年真题14笔试历.docx
- 重庆市面向西北工业大学定向选调2024届大学毕业生00笔试历年典型考题及解题思路附答案详解.docx
- 中国不动杆菌感染治疗药行业市场现状分析及竞争格局与投资发展研究报告2024-2029版.docx
- 2024至2030年全球与中国ETL软件市场现状及未来发展趋势.docx
- 初中八年级(初二)生物下册期末考试1含答案解析.docx
- 干簧式继电器项目申请报告.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)