一种高纯铝的提纯方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种高纯铝的提纯方法.pdf

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本发明涉及一种高纯铝的提纯方法，所述提纯方法包括以下步骤：(1)将原料铝依次进行第一热处理和第二热处理，得到粗提铝；(2)将步骤(1)得到的所述粗提铝进行蒸发提纯处理，得到铝蒸气；(3)将步骤(2)得到的所述铝蒸气进行冷却沉积处理，得到提纯铝。本发明提供的高纯铝的提纯方法可以有效降低材料中酸不溶物粒子的数量，有利于提高靶材的溅射性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875248 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210593929.4 C22F 1/04 (2006.01) (22)申请日 2022.05.2