一种三维六角元胞结构、制备方法及其器件.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种三维六角元胞结构、制备方法及其器件.pdf

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本发明公开了一种三维六角元胞结构，包括：第一导电类型外延区，位于第一导电类型外延区内的第二导电类型阱区，位于第二导电类型阱区内的第一导电类型源区，以及位于第一导电类型源区内的第二导电类型体区；其中，第二导电类型体区为凸起状；且沿六角元胞结构的六个边的垂直方向，第一导电类型外延区、第二导电类型阱区和第一导电类型源区上均设有宽度和高度相同的若干凸起，以分别在每个方向形成若干凸起台面，同时在六角元胞结构上形成相交于第二导电类型体区的六角台面结构。该结构使得器件同时拥有了平行于元胞表面和垂直于元胞表面的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883388 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210327031.2 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人西安电子科技大学