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本发明公开了一种基于神经网络的柔性IC基板表面缺陷分层分类方法,该方法包括下述步骤:构建基于神经网络的柔性IC基板缺陷分层分类树状模型,包括根节点、分支节点和叶节点;根节点对不同批次IC基板进行身份辨识并选择性激活对应分支节点模型;分支节点对应不同的批次,每个分支节点模型通过均衡概率分布的数据集组织策略结合支持向量机对IC基板健康状态进行二分类,叶节点协同根节点对输出的缺陷数据进行分类并溯源缺陷位置,利用基于多尺度特征稠密金字塔连接的YOLOv3检测器执行缺陷分类和位置溯源。本发明实现IC基板多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114881934 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210384125.3 G06N 3/04 (2006.01)
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