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本发明公开了一种基于光纤的FP腔折射率传感器,包括单模光纤以及固定在单模光纤端面上的3D微纳结构,该3D微纳结构包括:正对单模光纤端面设置的腔板;将腔板与单模光纤端面相互固定的一个或多个连接柱;所述单模光纤端面和所述腔板之间形成镂空的液体腔。所述折射率传感器是采用双光子聚合3D打印技术在光纤端面直接制备而成,该技术制备流程简单且加工精度高,结合高性能光刻胶,所制备的微纳结构具有极低的表面粗糙度(一般低于40nm)。此外,经过充足时间的紫(外)光固化,传感器也兼有较高的机械强度。总之,本发明提供的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114894713 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210462781.0
(22)申请日 2022.04.28
(71)申请人 西湖大学
地址 310024 浙江
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