多压杆烧结装置及烧结方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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多压杆烧结装置及烧结方法.pdf

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本发明涉及芯片烧结技术领域，尤其是一种多压杆烧结装置及烧结方法，该多压杆烧结装置包括第一模块及第二模块：第一模块，具有活塞板、第一隔热板及第一模板，第一隔热板配置于活塞板与第一模板之间；本发明其活塞利用传力件将压力传递给压杆，相对于断开式设计，避免压杆上的热量直接传递至活塞，传力件起到隔热和传力的效果，改善活塞的工况，同时由于传力件的设置，使活塞得以远离烧结腔，可以避免不同材料因膨胀系数不同受热不均而影响活塞的密封性，隔热板则可隔绝第一模板与活塞板之间的热量传递，避免活塞因温度过高对密封性产生影

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114899116 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210680925.X (22)申请日 2022.06.16 (71)申请人快克智能装备股份有限公司地址 2