一种高精度自动贴合对位系统及其对位方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种高精度自动贴合对位系统及其对位方法.pdf

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本发明涉及一种高精度自动贴合对位系统及其对位方法，该系统包括吸附工件的真空吸板，真空吸板的下表面上设有吸附位，真空吸板内部对应吸附位设有真空腔；还包括对位于吸附位上的工件的位置进行X轴和Y轴方向校正的第一校正机构和第二校正机构；还包括Z轴升降机构，和调节真空吸板的水平倾角的调整机构；第一校正机构和第二校正机构均固定在真空吸板的上表面上，调整机构设于Z轴升降机构的活动端子上；还包括与真空腔均连通的第一负压开关和第二负压开关；本发明的结构设计紧凑，体积小，实现难度低，全程实现了机械自动化的动作，精度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114876925 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210504841.0 (22)申请日 2022.05.10 (71)申请人深圳双十科技股份有限公司地址 5