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本发明公开了一种用于液体防护的晶圆清洗装置,其特征在于,包括:安装盘,所述安装盘包括安装盘本体、开设于所述安装盘本体中心的安装孔,以及设于所述安装盘本体顶面并围绕所述安装孔的挡板;承片部,所述承片部包括承片台、支撑柱和挡液罩,所述支撑柱设于所述安装孔,所述承片台连接所述支撑柱顶部,所述挡液罩围绕所述支撑柱,并且所述挡液罩覆盖所述安装孔。本发明解决了晶圆进行清洗时,液体从承片台周侧进入安装盘底部,导致驱动和传动的结构损坏的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114871182 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210592335.1
(22)申请日 2022.05.27
(71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司
地址
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