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本发明涉及一种电离真空变送器检测装置，包括依次连接的氮气源、稳压室、校准室、被测电离真空变送器；所述稳压室还分别与第一机械泵、电容薄膜真空计连接；所述校准室还与监测电离真空计连接；所述校准室、磁悬浮分子泵、电阻真空计、分子泵、第二机械泵依次连接；所述被测电离真空变送器还分别与电源、电压表连接。本发明无需使用真空仪表，直接获取电离真空变送器在对应环境参数下的电压值，简化了电离真空变送器的校准工作；通过电离真空变送器的输出电压与对应的真空度之间的关系，对不确定度进行了评定，确保了校验的准确性和有效性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114858350 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210661252.3
(22)申请日 2022.06.13
(71)申请人 上海市计量测试技术研究院
地址 2
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