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一种用于微机电设备的微结构(1),其包括具有顶表面(3)和背表面(4)的基板(2)和布置在所述基板(2)的顶表面(3)处的薄膜结构(5)。薄膜结构(5)包括与基板(2)间隔开的凸起部分(8)、薄膜结构(5)的与基板(2)机械接触的下部部分(6)、至少一个突出部分(9)以及薄膜结构(5)的与至少一个突出部分(9)相距一定距离的至少一个另外的侧壁(7),该突出部分是中空的并且具有至少一个侧壁(10)及底部(11)并且突出部分经由该底部(11)将凸起部分(8)机械连接到基板(2)。其中另外的侧壁(7)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902696 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080072969.3 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
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