一种弛豫铁电单晶材料晶体生长装置及制备方法.pdfVIP

一种弛豫铁电单晶材料晶体生长装置及制备方法.pdf

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本申请实施例提供了一种弛豫铁电单晶材料晶体生长装置及制备方法,包括坩埚和炉体,炉体包括保温侧壁和设置在保温侧壁上的加热组件,保温侧壁限定出炉体内腔,加热组件包括第一加热构件、第二加热构件和第三加热构件,第一加热构件位于第二加热构件的上方,第二加热构件位于第三加热构件的上方,第一加热构件的加热温度大于第二加热构件的加热温度,第二加热构件的加热温度大于第三加热构件的加热温度,以使炉体内腔由上至下形成高温加热区、中温加热区和低温加热区;坩埚以可升降的方式设置在炉体内腔中。采用坩埚下降法实现晶体生长,加

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114892260 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210519660.5 (22)申请日 2022.05.12 (71)申请人 中材人工晶体研究院有限公司 地址

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