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本发明的实施例提供了一种炉盖门及退火炉,涉及半导体技术领域。该炉盖门及退火炉包括门板、把手组件和定位组件,门板可转动地设置于设备平台上,把手组件可转动地设置于门板上,门板和把手组件的转动平面位于同一平面;定位组件连接于门板和把手组件之间,定位组件用于在门板封闭退火炉的炉体的情况下对门板进行定位,其能够提升操作的便捷性,以解决炉盖门松动的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114877694 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210569098.7
(22)申请日 2022.05.24
(71)申请人 无锡邑文电子科技有限公司
地址 2
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