一种测量积分球到玻璃表面距离的方法及倒装LED探针台调试方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种测量积分球到玻璃表面距离的方法及倒装LED探针台调试方法.pdf

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本发明公开了一种测量积分球到玻璃表面距离的方法。技术方案为，将积分球设置于玻璃一侧，且积分球收光口垂直正对应玻璃；光纤传感器正对应玻璃并位于远离积分球的一侧，使光纤传感器的出射光线能够到达积分球收光口；调整光纤传感器的焦距，使光纤传感器聚焦于玻璃表面/积分球收光口边沿；相应的调整光纤传感器相对于玻璃的距离，使光纤传感器聚焦于积分球收光口边沿/玻璃表面；所述调整的光纤传感器相对玻璃的距离，即为积分球收光口边沿到玻璃表面的距离。应用所述测量积分球到玻璃表面距离的方法的倒装LED探针台调试方法；提升测

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114877818 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210574893.5 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人矽电半导体设备（深圳）股份有限公