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本发明涉及金属材料表面高温防护涂层领域,具体为一种抗高温氧化的NiAl/AlSiON多层复合涂层及制备方法。多层复合涂层由NiAl金属子层和AlSiON子层交替在钛合金钛铝合金基体上沉积获得,该多层复合涂层的底层和顶层均为AlSiON子层,采用离子镀技术制备AlSiON子层,使用磁控溅射技术制备NiAl金属子层,AlSi靶材作为离子镀阴极靶材以制备AlSiON子层,采用Ni3Al和Al靶作为磁控溅射阴极靶材以制备NiAl金属子层。NiAl/AlSiON多层复合涂层的制备过程包括:前期处理、离子溅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114875360 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210575221.6 C23C 14/02 (2006.01)
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