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本发明涉及芯片制造技术领域,公开了一种清洁装置。清洁装置包括转盘、清洁组件、驱动件和支撑组件。转盘的转动轴线沿第一方向延伸,待清洁基板能够固定在转盘上;清洁组件位于转盘沿第一方向的一侧,清洁组件包括清洁头和连接臂,清洁头设置在连接臂的一端并位于连接臂朝向转盘的一侧;驱动件连接于连接臂的另一端并能够驱动清洁组件沿第二方向移动;支撑组件包括滑轨和滑块,滑轨沿第二方向延伸,滑块与滑轨滑动配合,滑块连接于连接臂相背转盘的一侧,滑块与清洁头设置在连接臂的同一端。本发明减少连接臂的形变量,保证清洁装置的清洁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114887976 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210578257.X
(22)申请日 2022.05.25
(71)申请人 宁波芯丰精密科技有限公司
地址 3
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