一种具有低开启电压的氧化镓二极管.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种具有低开启电压的氧化镓二极管.pdf

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本发明公开了一种具有低开启电压的氧化镓二极管，涉及新一代信息技术。针对现有技术中肖特基势垒和PN结各自存在的特性问题提出本方案。主要在于氧化镓漂移层远离n型衬底的端面设有电流阻挡层；电流阻挡层隔绝氧化镓接触层与氧化镓漂移层的接触；电流阻挡层设有多个第一开口，氧化镓漂移层通过多个第一开口与氧化镓沟道层电性连接；嵌入端与氧化镓接触层为欧姆接触。优点在于，同时规避了肖特基势垒二极管较大反向漏电流和PN结功率二极管正向开启电压较大的问题。使得二极管器件同时实现了低开启电压和低反向漏电流的效果，有效提高整

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114899241 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210369620.7 (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人中山大学地址 510275 广