一种用于半导体设备的高效率加热器.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种用于半导体设备的高效率加热器.pdf

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本发明提供一种用于半导体设备的高效率加热器，涉及纳米加热领域。该一种用于半导体设备的高效率加热器，包括主体，所述主体的侧壁上设置有六个加热膜，六个所述加热膜的一侧壁分别固定连接在主体的侧壁上，所述主体的侧壁中心处设置有连接电极，所述连接电极的侧壁固定连接在主体的侧壁上，所述主体的侧壁靠前后两端边缘处分别设置有电极片，所述防火外套管的前后两端分别固定连接有防火板支架，两个所述防火板支架的上端面上分别设置有两个安装孔。通过在主体侧壁上进行划片镀膜，共分为6个加热区域并使用电极做并联，使其三相电流平行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114885451 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210493808.2 (22)申请日 2022.05.08 (71)申请人苏州吉瑞精密机械有限公司地址 2