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本发明公开了高压碳化硅芯片的封装结构及其制备方法,该封装结构包括:陶瓷管壳、陶瓷盖板、芯片模块和绝缘填充物,陶瓷盖板盖设在陶瓷管壳的上端,芯片模块包括底座、基板、碳化硅芯片、键合线、第一电极端子和第二电极端子,底座盖设在陶瓷管壳的下端,基板上设有第一金属层和第二金属层,碳化硅芯片设在第一金属层上,碳化硅芯片的正面电极与第二金属层通过键合线相连,第一电极端子的一端与第一金属层相连,第二电极端子的一端与第二金属层相连,绝缘填充物包覆芯片模块,绝缘填充物包括有机绝缘材料和无机绝缘材料中的至少之一,有机
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883283 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210304976.2
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 清华大学
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