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本发明提供一种表征绝缘钝化层致密性的方法，包括提供一绝缘基板，在绝缘基板上蒸镀一层导电金属层，在导电金属层上沉积绝缘钝化层，绝缘钝化层上设有多个孔隙，在绝缘钝化层的表面涂布一层导电性的孔隙显色层，孔隙显色层覆盖绝缘钝化层；将导电金属层以及孔隙显色层分别外接电源的正极和负极，控制电源的通电时间使得孔隙显色层出现显色现象并形成斑点；根据斑点密度、斑点直径及通电时间计算得到孔隙的孔隙密度和直径大小。本发明中的表征绝缘钝化层致密性的方法，通过穿透绝缘钝化层的孔隙发生电化学反应，通过孔隙的密度和直径大小直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883468 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210521636.5
(22)申请日 2022.05.13
(71)申请人 江西兆驰半导体有限公司
地址 33
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