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本发明提供了一种气电混合具多款料盒兼容的上下料端口装置,属于半导体智能制造技术领域,包括竖直设置的竖板,所述竖板的上部开设有装载窗口,所述的装载窗口中设置有活动门,所述竖板的一侧水平固定有横板,所述横板的内部开设有活动窗口,所述活动窗口的上方滑动设置有装载平台,所述的装载平台与活动门分居在所述竖板的两侧,所述活动门的外侧设置有晶圆扫描框,所述的晶圆扫描框与活动门处于所述竖板的同一侧,所述的晶圆扫描框上设置有光纤扫描仪。本发明通过设置伺服电机和丝杆电机,保证了晶圆料盒进给运动和晶圆扫描运动的精度,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883232 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210389129.0
(22)申请日 2022.04.14
(71)申请人 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
地址
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