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本发明公开了一种飞秒、纳秒激光制备图案化柔性传感器及其制备方法。制备方法包括以下步骤：1)混合聚二甲基硅氧烷(PDMS)单体和固化剂，旋涂制备透明柔性的PDMS基底；2)用氧气等离子体(Plasma)辐照PDMS基底；3)在基底上面旋涂银纳米线浆料；4)对银纳米线浆料施加压力；5)飞秒激光扫描PDMS基底上的银纳米线浆料；6)纳秒激光熔融、击飞多余银纳米线，绘制图案；7)旋涂PDMS，封装图案化银纳米线浆料。本发明提供的方法制备速度快，精度高。所制备的传感器质地柔软，具有优异的透光性能和可拉伸性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114885509 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210399721.9
(22)申请日 2022.04.15
(71)申请人 武汉大学
地址 430072 湖
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