激光器及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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激光器及其制造方法.pdf

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本申请提供了一种激光器及其制造方法，其中激光器包括无源段，无源段包括无源段波导层，光束在无源段波导层内沿第一方向传播，无源段波导层包括渐变区，渐变区沿第一方向厚度递减，渐变区沿第一方向宽度递增。制造方法包括在在基介质层上外延生长无源段波导层；制作掩膜；将掩膜盖在基介质层和部分无源段波导层上；将无源段波导层的渐变区刻蚀为沿第一方向厚度递减，沿第一方向宽度递增。本申请提供了一种激光器及其制造方法，能够提升激光器与光纤的耦合效率，省去额外的提升耦合效率的部件，简化芯片制作工艺，减少芯片制造成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114899698 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210344280.2 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人武汉敏芯半导体股份有限公司地址