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本发明涉及传感器技术领域,公开了一种压力传感器。其中压力传感器包括基板、调理芯片、压力传感器芯片和外壳。调理芯片贴设于基板上,压力传感器芯片贴设于调理芯片上,压力传感器芯片与调理芯片的堆叠不仅可以压缩压力传感器的封装尺寸,还使得一次涂层工艺就可以同时实现对压力传感器芯片和调理芯片的包覆,提高了压力传感器的生产效率,还增加了压力传感器与基板之间的距离,有效削弱了外界应力对压力传感器芯片性能的影响,从而提高了压力传感器的测量精度。外壳与基板相连,形成容纳腔,调理芯片和压力传感器芯片设于容纳腔内,有效
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114878064 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210618142.9
(22)申请日 2022.06.01
(71)申请人 昆山灵科传感技术有限公司
地址 2
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