一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备.pdf

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本发明涉及一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备，解决现有的柔性CIGS太阳能电池片的碱金属PDT处理水平不高的问题。本装置包括真空腔，真空腔两侧分别设有放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送柔性基板，柔性基板底面有CIGS层，放卷轴和收卷轴之间的柔性基板沿输送方向依次设有碱金属前驱体镀膜区、硒化区和冷却区，碱金属前驱体镀膜区的下方设有碱金属源，硒化区下方设有硒源，所述碱金属前驱体镀膜区、硒化区柔性基板上方分别设有上加热器。本发明实现了带有CIGS吸收层的柔性基底的碱金属后处理工艺，P

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883430 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210543904.3 (22)申请日 2022.05.19 (71)申请人尚越光电科技股份有限公司地址 3