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一种用于不规则形状零件的等离子体薄膜沉积装置和处理方法，包括高压电极和接地电极，所述高压电极通过高压导线和高压电源连接，所述高压电极和有机玻璃管单元组成放电区域，所述高压电极通过柔性聚合物长导管和接地电极连接，所述接地电极位于柔性聚合物长导管的端口处，取柔性聚合物长导管被机械臂单元夹住，在机械臂单元的控制下，将柔性聚合物长导管的出口处对准被处理的零件的处理部分。与现有技术相比极大的提高了对一些复杂中空以及曲率较大的零件处理效率，现有方法不能完全处理狭小间隙，但本发明可以完美处理零件间隙等狭小地带
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114875389 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210441856.7
(22)申请日 2022.04.25
(71)申请人 南京工业大学
地址 211816
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