无尘室格子梁孔洞上安装高架地板支撑的装置.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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无尘室格子梁孔洞上安装高架地板支撑的装置.pdf

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本发明公开了无尘室格子梁孔洞上安装高架地板支撑的装置，属于半导体制造领域，无尘室格子梁孔洞上安装高架地板支撑的装置，包括高架地板，所述高架地板底部安装有支撑组件，所述支撑组件包括四组支撑筒，四组所述支撑筒顶部均固定连接有支撑座，所述支撑座上开设有滑槽，所述滑槽内部滑动连接有调节杆，所述调节杆顶部固定连接有支撑头，所述支撑头与高架地板固定相连，所述调节杆外壁螺纹连接有调节环，所述支撑座侧壁开设有与滑槽相连通的螺纹槽，所述螺纹槽内部螺纹连接有定位杆，通过转动调节环带动调节杆上下移动，调节杆上的支撑头

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114876150 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210707474.4 (22)申请日 2022.06.21 (71)申请人合肥玖福半导体技术有限公司地址