一种红外金属化全通型锗窗片及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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一种红外金属化全通型锗窗片及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种红外金属化全通型锗窗片及其制备方法，所述红外金属化全通型锗窗片包括锗基底和设置于所述锗基底表面的金属膜、过渡区和光学膜，所述过渡区周向设置于所述光学膜外缘，所述金属膜周向设置于所述过渡区外缘，所述光学膜的膜系结构为MLMHM，本发明通过全新的膜系设计，膜层数更少，同时实现窗片对红外透射波段的拓展，采用三层金属膜结构，增强锗基底对金属粘附层的粘附性，使金属化薄膜更加牢固的同时降低了金属膜层焊接难度，提高了靶材利用率，从而可以实现低耗材厚膜层镀制，在实现设计功能的前提下节约制造成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114879283 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210553078.0 C23C 14/16 (2006.01)