OPC模型数据权重设置方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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OPC模型数据权重设置方法.pdf

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本发明公开了一种OPC模型数据权重设置方法，包括：步骤一、对版图上的图形进行分类并设置各类所述图形的参考权重；步骤二、设置OPC模型中各数据点的权重，包括：计算第一系数，第一系数为和数据点的图形线宽尺寸相关的系数；计算第二系数，第二系数为和数据点的图形的测量尺寸可靠度相关的系数；计算数据点的权重，数据点的权重为数据点的图形所属的图形类别的参考权重、第一系数和第二系数的乘积。本发明能有效地降低模型误差和均方根数值，提高OPC模型精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114925635 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210572098.2 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司地址