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本发明公开一种缓冲部件、液体回收装置和半导体清洗设备，涉及半导体制造技术领域。该缓冲部件可应用于半导体清洗设备的液体回收装置。该缓冲部件包括本体和第一缓冲部，本体具有液体回收通道，液体回收通道沿本体的厚度方向贯穿本体，且液体回收通道在本体的上表面形成有液体进入口；第一缓冲部设置于液体回收通道的内周壁，第一缓冲部具有至少部分朝向液体进入口的第一缓冲面，第一缓冲面沿其靠近内周壁的一端向远离内周壁的一端倾斜向下设置。该方案能有效避免液体回收装置产生的反溅、起沫，并且针对不同的药液种类和流量以及不同的喷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114904823 A
(43)申请公布日 2022.08.16
(21)申请号 202210493601.5
(22)申请日 2022.05.07
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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