半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法.pdf

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本发明公开了半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法，属于图层温度传感器技术领域，在半导体废气处理设备内管道直径对称点上开设两组通孔，将两组外环形套至于半导体废气处理设备管道内，使其检测带位于管道直径线上，调节内螺纹套在外螺纹杆外侧的位置，以适应半导体废气处理设备管道的厚度，使其内螺纹套位于半导体废气处理设备管道的外壁，将内螺纹套插入至通孔内，然后从半导体废气处理设备管道的外侧将卡套套设在内螺纹套的外侧上，通过拉动卡杆调节滑动板和限位弹簧配合外插槽对内螺纹套进行限位固定，当高温气体吹动缓

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114910189 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210510704.8 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人崔汉宽地址 201315 上海市