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本发明公开一种真空吸附装置,包括底座、抽气部件、处理器和动力模块。抽气部件包括分气模块、空心圆管、旋转接头及抽气设备,分气模块均和若干工位板连接,空心圆管的上端和分气模块连接,下端和旋转接头的上端连接,旋转接头和抽气设备连接;处理器,用于控制分气模块单独或者同时抽取若干工位板上的气体,以使得PCB板被吸附在工位板的上端面。本发明能对转盘上的若干工位板单独或者同时抽真空处理,以使得放置在工位板上的PCB板被紧紧吸附在工位板上,一方面提高了工作效率,另一方面也防止了PCB板在曝光过程中从转盘中甩落出
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114918847 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210610384.3
(22)申请日 2022.05.31
(71)申请人 深圳市先地图像科技有限公司
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