包括喷注总成的非接触式沉积系统.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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包括喷注总成的非接触式沉积系统.pdf

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一种非接触式沉积系统，其包含含有至少一个微型阀的喷注总成。微型阀包括孔板，该孔板限定穿过其中的孔。致动梁被设置成与孔板形成间隔关系。致动梁包括基底部和悬臂部，该悬臂部从基底部延伸向孔，并且在闭合位置与打开位置之间可移动。含有密封构件的密封结构设置在悬臂部的重叠部处。流体歧管耦接到微型阀并限定含有加压流体的流体贮器。当致动梁处于闭合位置时，悬臂部被定位成使得密封结构密封孔以闭合微型阀，且在打开位置时，流体从孔分配向基板并沉积在其上。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930058 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202080090895.6 (74)专利代理机构北京安杰律师事务所 11627