一种用于高灵敏度气体传感装置的加热装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种用于高灵敏度气体传感装置的加热装置.pdf

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本发明涉及一种用于高灵敏度气体传感装置的加热装置，包括导热模块和具有若干个加热子单元的加热模块，加热子单元沿导热模块的第一表面的第一方向和/或第二方向周期性或非周期性排列以在导热模块的第二表面形成用于加热传感装置感测元件的传热区，从而使导热模块形成沿第二表面的第一方向和/或第二方向周期性或非周期性排列的散热区，加热装置还包括设置于第二表面的检测模块，检测模块包括若干个检测子单元，检测子单元基于其与导热模块的热传导以调整传热区和散热区的温度梯度，加热子单元在第一方向和/或第二方向上以具有至少两个间

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114924041 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210563437.0 (22)申请日 2022.05.20 (71)申请人艾感科技（广东）有限公司地址 5