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本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面发射激光器，包括如下步骤：S1，在外延层表面进行p金属的蒸发形成p电极以及p金属电极连接带，所述p金属电极连接带接在所述p电极上；S2，在p电极和所述p金属电极连接带外制作氧化刻蚀槽；S3，制作完毕后整体进行氧化，在外延层内部形成氧化孔；S4，接着对p电极和所述p金属电极连接带处理后进行离子注入，在离子注入保护区中形成辅助电流通道，所述p电极和所述p金属电极连接带均处于所述辅助电流通道中；S5，继续对p面和n面进行处理后切割芯片制作完毕。还提供一种垂直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927937 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210480954.1
(22)申请日 2022.05.05
(71)申请人 武汉仟目激光有限公司
地址 430
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