一种靶材冷却背板及其焊接方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种靶材冷却背板及其焊接方法.pdf

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本发明提供了一种靶材冷却背板及其焊接方法，在背板底板的水道中填充固体颗粒后，与背板盖板进行固定，得到待焊接组件；将待焊接组件进行热等静压焊接，得到半成品靶材冷却背板；将半成品靶材冷却背板中的固体颗粒进行清除，得到靶材冷却背板。本发明通过在背板的水道中填充固体颗粒，避免热等静压焊接导致的水道变形，进而避免水道泄漏问题；同时具有较高的焊接强度和焊接结合率；且焊接方法操作简便，易于大规模推广使用。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114918525 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210579714.7 (22)申请日 2022.05.25 (71)申请人宁波江丰电子材料股