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本发明涉及铁电电容器技术领域,尤其涉及一种柔性铁电电容器,该柔性铁电电容器包括:衬底;功能层,所述功能层位于所述衬底之上,其中,所述功能层的材质为氧化铝;下电极层,所述下电极层位于所述功能层之上;介质层,所述介质层位于所述下电极层之上;上电极层,所述上电极层位于所述介质层之上。柔性铁电电容器提高铁电电容器的柔韧性,使得柔性铁电电容器的器件的柔韧性大大提高,器件在弯折后,其性能仍保持稳定。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927344 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210492735.5
(22)申请日 2022.05.07
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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