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本发明涉及光电探测器技术领域,公开了一种等离激元增强的碲镉汞红外探测器及其制备方法和应用,所述红外探测器自下而上依次包括衬底、金属反射层、钝化层、碲镉汞材料层;所述碲镉汞材料层上排布有至少1个金属纳米结构和至少1对电极;所述碲镉汞材料层的厚度为2100~4000nm。本发明等离激元增强的碲镉汞红外探测器的金属反射层、钝化层、碲镉汞材料层以及金属纳米结构构成法布里‑珀罗(F‑P)谐振腔,可使受激辐射的光波在其谐振腔体内维持来回振荡,提高光能密度和红外吸收范围,从而提高光电探测器的光吸收和光响应能力
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927584 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210704855.7
(22)申请日 2022.06.21
(71)申请人 广东工业大学
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