一种高可靠、大束流离子发生装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种高可靠、大束流离子发生装置.pdf

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本发明公开了一种高可靠、大束流离子发生装置，其技术方案要点是：一种高可靠、大束流离子发生装置，包括腔壁、灯丝、阴极板、支架、反射板，所述灯丝、阴极板、反射板均设置于腔壁内，且所述灯丝、阴极板与反射板分设于腔壁两端位置，所述支架材质为绝缘材质，所述支架固定于所述腔壁，所述阴极板固定于所述支架，所述阴极板与腔壁之间留有空隙，所述支架设置有防止金属离子沉积后导致灯丝短路的防短路结构，所述防短路结构为若干开设于所述支架侧壁并供金属离子沉积的储纳槽。本发明通过储纳槽优先先溅射常设的金属离子，延迟支架表面形

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927404 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210528304.X (22)申请日 2022.05.16 (71)申请人浙江中科尚弘离子装备工程有限公