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本发明公开了机械手清洗装置、清洗方法及半导体设备，其中清洗装置包括壳体，壳体的腔体自上而下设置有采集区、检测区和清洁区，壳体上设置有分别与采集区、检测区和清洁区连通的开口。采集区设置有采集装置，采集装置用于采集机械手的形状轮廓。检测区设置有扫描装置，扫描装置用于扫描机械手的表面，并对机械手的表面清洁度进行判断；清洁区设置有清洁装置，清洁装置用于对机械手的表面进行清洁，清洁装置包括矩阵分布的多个清洁头，每个清洁头可单独启闭。能进行机械手的自动清洗，清洗效率高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114904822 A
(43)申请公布日 2022.08.16
(21)申请号 202210332156.4 B25J 19/00 (2006.01)
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