用于缺陷分析的计算机实现的方法、用于缺陷分析的设备、计算机程序产品和智能缺陷分析系统.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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用于缺陷分析的计算机实现的方法、用于缺陷分析的设备、计算机程序产品和智能缺陷分析系统.pdf

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提供了一种用于缺陷分析的计算机实现的方法。该计算机实现的方法包括：获得多组缺陷点坐标，所述多组缺陷点坐标中的各组包括多个基板中的各个基板中的缺陷点的坐标，各个基板中的缺陷点的坐标是在图像坐标系中的坐标；将根据所述图像坐标系的所述多组缺陷点坐标组合成复合组坐标，以生成复合图像；以及执行聚类分析以将所述复合图像中的所述复合组中的缺陷点分类成多个点簇。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930385 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202080003638.4 (51)Int.Cl.