一种多重纳米方柱阵列宽带完美吸收器.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种多重纳米方柱阵列宽带完美吸收器.pdf

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本发明公开了一种多重纳米方柱阵列宽带完美吸收器，在基底上依次设有锗层和硅光栅，在硅光栅上设有周期排列的铁纳米方柱阵列。在硅光栅的各行硅结构上表面，沿光栅长度方向，铁纳米方柱的高度成波浪状排列，且相邻两个铁纳米方柱高度差为dh；相邻两行硅结构上的铁纳米方柱的高度排列步调相反。本发明的完美吸收器采用的材料为成本低廉的Fe、Ge、Si，结构相对简单，并将吸收波段进一步扩大，实现了从紫外波段到近红外波段非常高的吸收。在采用理想参数情况下，实现在200nm‑2200nm波段平均96.8％的吸收率，其中49

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114910988 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210539500.7 (22)申请日 2022.05.17 (71)申请人扬州大学地址 225009 江苏