金刚石/铜复合散热片及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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金刚石/铜复合散热片及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种金刚石/铜复合散热片及其制备方法，属于散热材料技术领域。本发明复合散热片由加工了鳍片的自支撑金刚石膜、上下两表面的铜/强碳化物金属复合改性层和鳍片表面封填的厚铜层构成。其制备方法包括以下步骤：先在自支撑金刚石膜表面加工出鳍片，然后在鳍片表面及金刚石膜下表面制备铜/强碳化物金属复合涂层，最后沉积厚铜层增厚鳍片表面铜涂层至完全填充鳍片间隙。本发明复合散热片具有绝缘性能好，热导率、热膨胀系数可调，机械强度高、制备简单、成本低等优点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114909942 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210578432.5 C23C 10/24 (2006.01)