一种硅片研磨料浆循环装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种硅片研磨料浆循环装置.pdf

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本发明属于硅片磨削加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨料浆循环装置，包括：粗过滤器，用于对硅片研磨料浆进行粗过滤；料浆收集桶，用于收集经过粗过滤的硅片研磨料浆；皮带式过滤机构，用于对料浆收集桶内的硅片研磨料浆进行精过滤；料浆输出桶，用于收集经过精过滤的硅片研磨料浆；其中，料浆输出桶具有料浆输出口，用于输出硅片研磨料浆以对硅片进行研磨加工。本发明的硅片研磨料浆循环装置，将过滤环节分解为粗过滤与精过滤两道工序，其中，精过滤环节设计的皮带式过滤机构，使得过滤网通过皮带式的转动进行循环，不停更新进行过滤的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114917797 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210630676.3 B01D 36/02 (2006.01)