一种金刚石/金属复合散热片及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种金刚石/金属复合散热片及其制备方法.pdf

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本发明为一种金刚石/金属复合散热片及其制备方法，属于散热材料技术领域。该散热片主要由两侧带凹槽的连续金刚石膜和填充在凹槽中的填充金属组成，还可以在二者间设置强碳化物形成元素过渡层。制备时先在基体表面加工连续的图形化槽体，接着用化学气相沉积法生长两侧带凹槽的连续金刚石膜，然后在凹槽中充填填充金属，随后去除基体，在另一侧的凹槽中充填填充金属，最后去除两侧过盈的填充金属即可。本发明散热片的主体为连续金刚石膜，结构强度大，散热性和耐磨性极高，填充金属被金刚石膜完全隔离，绝缘性能优异，且凹槽的图形化使散热

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114921766 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210578458.X F28F 3/00 (2006.01) (22)申请日 2022.05.2