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本发明提供了一种坩埚在线多头加料的上料机,若干加料机本体、移动平台、送料管路、脱气除尘泵和真空泵;每个加料机本体均通过送料三通连通至送料管路,每个加料机本体顶部的换向阀通过管路连通至真空泵,每个加料机本体底部的伸缩出料管均通过管路连通至脱气除尘泵;加料机本体、送料管路、真空泵和脱气除尘泵形成了上料系统,上料系统安装至移动平台,所述移动平台能够实现X方向的移动,移动平台下方设有与加料机本体一一对应的坩埚,上料系统、移动平台均连接至控制器。本发明通过配合移动平台使用,实现上料机的行走,并采用真空泵直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114909905 A
(43)申请公布日 2022.08.16
(21)申请号 202210610127.X
(22)申请日 2022.05.31
(71)申请人 天津市飞云粉体设备有限公司
地址
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